Vapor-phase Processing of Zeolitic Imidazolate Frameworks for Optical Sensor Integration

Promovendus/a: Jorid Smets

Promotor(en): Prof. dr. ir. Rob Ameloot, Prof. dr. Sammy Verbruggen

Deze thesis onderzoekt het gebruik van gasfase dunne film depositie methoden om integratie van metaal-organische roosters (MOFs) in elektronische apparaten te faciliteren. Door gasfase laag-na-laag depositie methoden te ontwikkelen is een MOF-equivalent van atomaire laag afzetting mogelijk gemaakt, een veelgebruikte techniek in microfabricatie. Deze methode was verder uitgebreid door aan te tonen dat het proces locatieselectieve afzetting en controle over de graad van kristallografische oriëntatie toelaat. Verder wordt het potentieel van deze MOFs om te functioneren als een reactie-gemedieerde sensor voor bepaalde volatiele componenten geïllustreerd, waarbij ze geïntegreerd worden met verschillende transductiemethoden.